又稱硅氟氫酸。無水物是無色氣體。不穩定。易分解為四氟化硅和氟化氫。水溶液無色，呈強酸性反應。有腐蝕性，能侵蝕玻璃。保存于蠟制或塑料制等容器中。濃溶液冷卻時析出無色二水物的晶體，熔點19℃。氟硅酸有消毒性能。用于制氟硅酸鹽和冰晶石，并用于電鍍、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化硅溶解于氫氟酸中或混和石英粉、氟化鈣和濃硫酸后加熱而制得。也可從磷肥廠中分解磷礦時逸出的四氟化硅氣體用水吸收而得。

        存儲方法

        儲存注意事項儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不超過30℃，相對濕度不超過80%。保持容器密封。應與易（可）燃物、堿類分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備和合適的收容材料。

        合成方法

        由濕法磷酸生產中釋放出四氟化硅經水吸收制得。亦可由硅砂與氫氟酸反應制得或用硅砂、氟化鈣和濃硫酸混合加熱制得。

        硅石粉酸解法在襯鉛的酸解設備中先加入氫氟酸，然后逐漸加入硅石粉，使之反應。反應完成后，加入稻糠灰以中和游離的氫氟酸，同時起到漂白溶液的作用，過濾溶液，在濾出的清液中加入適量的黃丹粉(PbbO)以除去氫氟酸中帶入的硫酸根，再經過濾，制得氟硅酸成品。

        1.性狀：無色透明的發煙液體，有刺激性氣味。

        2.熔點（℃）：-20~-17

        3.沸點（℃）：105（分解）

        4.相對密度（水=1）：1.2

        5.飽和蒸氣壓（kPa）：3.19（20℃）

        6.溶解性：溶于水。